液滴吐出ヘッド及びその製造方法、インクジェット記録装置並びに画像形成装置、液滴吐出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-185712
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001970
特許番号：特許第4144810号
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】液滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、前記振動板を静電力で変形変位させて前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、前記電極の表面に形成した保護絶縁膜に前記振動板との間のギャップを形成する彫り込み部が形成され、前記保護絶縁膜の彫り込み部で形成されるギャップは断面形状でギャップ長0となる傾斜面を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。

IPC (3件)：