立体形半導体素子、インクタンク、および圧力調整方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：宮崎昭夫 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181835
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001990
特許番号：特許第3592203号
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内圧調整が必要な容器に対して、一部位を前記容器の外部に露出させ、かつ、他の一部位を前記容器の内部に露出させて配置されて使用されるボール状の立体形半導体素子であって、球状シリコンと、該球状シリコンと間隔を有して片持ち支持され前記容器の内圧に応じた開閉動作を行う第1可動部および第2可動部と、該第1可動部と第2可動部とをつなぎ前記球状シリコンとの間に空間として構成された通路と、前記球状シリコンの表面の一部に設けられた第1および第2ベース電極と、前記第1および第2ベース電極と対向し前記第1および第2可動部にそれぞれ設けられた第1および第2バルブ電極とを備えて構成され、前記一部位と前記他の一部位にそれぞれ前記第1可動部および第2可動部が配されている圧力調整手段と、前記圧力調整手段の前記第1および第2可動部を動作させるため、前記容器の内圧情報に応じて外部から与えられるエネルギーを該エネルギーとは異なる種類のエネルギーに変換するエネルギー変換手段と、を有し、前記圧力調整手段と前記エネルギー変換手段とを前記球状シリコンに半導体プロセスを利用して構成したことを特徴とする立体形半導体素子。

IPC (3件)：

B41J 2/175 , G01L 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

B41J 3/04 102 Z , G01L 9/04 101 , H01L 29/84 B

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-119241
柱状デバイス及び露光装置及びデバイス製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-057607 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-158348

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