特許

J-GLOBAL ID：201103057268765382

照明装置、露光装置、照明方法、露光方法及びデバイス製造方法

発明者： 小山 元夫 ,  水谷 英夫 ,  竹中 修二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-181134
公開番号（公開出願番号）：特開2011-033907
出願日： 2009年08月04日
公開日（公表日）： 2011年02月17日
要約：

【課題】 スペース内で均一な照明光でマスクを照明できる照明光源を提供する。【解決手段】 照明装置(IL)は、内面に反射面が形成された筒状の反射体(20)と、反射体に光を供給する光源部(10)と、反射体の側面部に形成され光源部から供給される光を反射体の内部に入射させる入射部(23)と、反射体の側面部のうち入射部と異なる位置に該反射体の軸方向に沿ってスリット状に形成され、反射面が反射した光を物体に対して射出する射出部(21)を備える。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

物体を照明する照明装置において、 内面に反射面が形成された筒状の反射体と、 前記反射体に光を供給する光源部と、 前記反射体の円周部に形成され、前記光源部から供給される光を前記反射体の内部に入射させる入射部と、 前記反射体の円周部のうち前記入射部と異なる位置に、該反射体の軸方向に沿ってスリット状に形成され、前記反射面が反射した光を前記物体に対して射出する射出部と、 を備える照明装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F7/20 501 ,  H01L21/30 527

Fターム (13件)：

2H097AA05 ,  2H097AA16 ,  2H097AB10 ,  2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA06 ,  2H097GB02 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CA06 ,  5F046CB05 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01