物体の表面検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-190857
公開番号（公開出願番号）：特開平3-054439
出願日： 1989年07月24日
公開日（公表日）： 1991年03月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検査物体を撮像手段を介して撮像した映像信号を欠陥信号処理手段に供給して、該被検査物体表面の欠陥をモニタの再生画面上に表示する様に成された物体の表面検査装置に於いて、上記欠陥信号処理手段から得られた欠陥信号に基づいて上記モニタに表示する表示信号の時間幅を設定する時間幅設定手段と、上記時間幅設定手段の出力信号に基づいて、上記表示信号の周期を設定する周期設定手段と、上記周期設定手段の出力信号に基づいて、上記モニタの明るさを設定する明るさ設定手段と、上記明るさ設定手段からの表示信号を上記撮像手段からの映像信号に重畳する重畳手段とを具備し、上記重畳手段からの重畳信号を上記モニタに表示し、欠陥位置が目に認識し易い表示信号を得る様に成したことを特徴とする物体の表面検査装置。

IPC (2件)：