特許

J-GLOBAL ID：201103057361531634

搬送用冶具

発明者： 藤島 浩幸 ,  草▲なぎ▼ 恵与
出願人/特許権者： エルピーダメモリ株式会社
代理人 (3件)： 池田 憲保 ,  福田 修一 ,  佐々木 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-139469
公開番号（公開出願番号）：特開2010-287679
出願日： 2009年06月10日
公開日（公表日）： 2010年12月24日
要約：

【課題】 損傷や吸着ミスが少なくかつ低費用で実現可能な搬送用冶具(吸着コレット)を提供する。【解決手段】 半導体チップ52を吸着して搬送するための吸着コレット500であって、吸着コレット500の先端部に、半導体チップ52を吸着するための粘着性シート50を設けた。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

搬送対象物を吸着して搬送するための搬送用冶具であって、 前記冶具の先端部に、前記搬送対象物を吸着するための粘着手段を設けたことを特徴とする搬送用冶具。

IPC (2件)：

H01L 21/67 ,  H01L 21/60

FI (2件)：

H01L21/68 E ,  H01L21/60 311T

Fターム (7件)：

5F031CA13 ,  5F031GA30 ,  5F031MA35 ,  5F031MA40 ,  5F044KK01 ,  5F044QQ02 ,  5F044QQ03