薄膜太陽電池の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野河信太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-229276
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043595
特許番号：特許第3717378号
出願日： 2000年07月28日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ガラス基板表面に裏面電極層、光電変換層、表面電極層を積層し、裏面電極層の端部に金属層を介して電力取り出し用電極を接合する薄膜太陽電池の製造方法において、ガラス基板の表面に裏面電極層、光電変換層、表面電極層を積層して表面電極層を保護マスクで覆ってから、ガラス基板の裏面を処理して前記基板を薄く加工する加工工程と、前記金属層を裏面電極の端部に積層する積層工程とを備え、前記保護マスクは加工工程と積層工程で表面電極層を保護するために両工程で兼用されることを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。

IPC (1件)：