特許

J-GLOBAL ID：201103057428021350

合成石英加熱方法

発明者： 長島 節夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-273958
公開番号（公開出願番号）：特開平3-135562
特許番号：特許第2743523号
出願日： 1989年10月20日
公開日（公表日）： 1991年06月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】合成石英(1)を,水分吸収波長の2.6乃至3.0μmの特定波長を含んで放射する発熱体(2)を用いて,真空中,該合成石英(1)と該発熱体(2)が非接触で,400°C以上の高温度に加熱することを特徴とする合成石英加熱方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/304 341

FI (3件)：

C03B 20/00 ,  G03F 1/14 B ,  H01L 21/304 341 D