特許
J-GLOBAL ID：201103057437528905
ポリッシング方法およびポリッシング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-089175
公開番号（公開出願番号）：特開平2-269553
出願日： 1989年04月06日
公開日（公表日）： 1990年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】被研磨物の研磨すべき面が平面状になっており、該研磨すべき平面にポリッシングベルトを対向させて、該被研磨物とポリッシングベルトとの間に該ポリッシングベルト上流側から供給される砥液を流通させつつ両者を相対的に直線移動させる際に、該ポリッシングベルトにその背面から圧力液体により圧力を付与するとともに、該ポリッシングベルトと圧力盤との間に圧力液体による液体膜を介在させて該被研磨物の該研磨すべき平面に均一な圧力を与え該被研磨物をポリッシングすることを特徴とするポリッシング方法。
IPC (2件)：
B24B 21/00 A
, H01L 21/304 321 E
