特許

J-GLOBAL ID：201103057940867210

ポジ型感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜及びその形成方法

発明者： 米田 英司 ,  梶田 徹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (8件)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  宮崎 悟 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-055156
公開番号（公開出願番号）：特開2011-191344
出願日： 2010年03月11日
公開日（公表日）： 2011年09月29日
要約：

【課題】アルカリ現像性が良好で、低温加熱での硬化が可能であり、かつ高い放射線感度を有するポジ型感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】3級炭素がオキセタニル構造を有するポリビニルエーテルより選択される少なくとも1種の構造単位を含む重合体と酸発生剤を含有し、さらに望ましくは、重合体がモノマー単位として、無水マレイン酸またはマレイミド構造単位を含むポジ型感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

[A](a1)下記式(1)及び(1 ́)でそれぞれ表される構造単位からなる群より選択される少なくとも1種の構造単位を含む重合体、及び [B]酸発生剤 を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 216/12 ,  C08F 222/40 ,  C08F 222/06 ,  C08F 220/06 ,  C08F 220/28

FI (9件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 511 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F216/12 ,  C08F222/40 ,  C08F222/06 ,  C08F220/06 ,  C08F220/28

Fターム (43件)：

2H096AA30 ,  2H096JA04 ,  2H125AE14P ,  2H125AF05P ,  2H125AF16P ,  2H125AF18P ,  2H125AF46P ,  2H125AF70P ,  2H125AH16 ,  2H125AJ35Y ,  2H125AJ44Y ,  2H125AJ63Y ,  2H125AJ64Y ,  2H125AJ84Y ,  2H125AJ85Y ,  2H125AN39P ,  2H125BA05P ,  2H125BA22P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  4J100AB02R ,  4J100AE09P ,  4J100AJ02R ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL10R ,  4J100AM43Q ,  4J100AM47Q ,  4J100AM48Q ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC53R ,  4J100BC54R ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38