試料ホルダ支持装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中隆秀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-071360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268758
特許番号：特許第3589583号
出願日： 1999年03月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下記の要件(A01)〜(A07)を備えたことを特徴とする試料ホルダ支持装置、(A01)内部が真空に保持された電子顕微鏡の外壁、(A02)前記外壁に支持された球面軸受により内端部が回動可能に支持された円筒壁と、前記円筒壁の内側に形成され且つ前記外壁の内外を連通させるホルダ装着孔と、前記円筒壁の外端部に軸方向に沿って形成されたスライダ収容溝とを有するホルダ装着部材、(A03)試料を保持する試料保持部が設けられた内端部が前記外壁の内側に配置されるとともに、前記外壁の外側に配置された外端部の外側面に前記スライダ収容溝内に突出するガイドピンが設けられた試料ホルダを、スライド可能且つ気密に保持する前記ホルダ装着孔、(A04)前記試料ホルダの試料保持部に当接して、前記試料保持部を前記軸方向に位置決めするホルダ内端位置決め駆動機構、(A05)前記スライダ収容溝に前記軸方向に移動可能に収容されて、前記試料ホルダのガイドピンと係合するピン係合部が設けられるとともに、前記円筒壁の外側に突出するように形成された移動制限用被係止部を有するスライダ、(A06)前記スライダの移動制限用被係止部に前記ホルダ装着部材の内端方向から係止するスライダ係止部が設けられたスライダ係止部材、(A07)前記スライダの前記内端方向の移動を制限するように前記スライダ係止部材を付勢するバネ。

IPC (1件)：

H01J 37/20

FI (1件)：

H01J 37/20 C

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