特許

J-GLOBAL ID：201103058196523458

低表面張力硫酸組成物

発明者： 原 壽生 ,  森 清人 ,  志保谷 孝雄
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社 ,  関東化学株式会社
代理人 (1件)： 葛和 清司 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-060765
公開番号（公開出願番号）：特開平2-240285
特許番号：特許第2894717号
出願日： 1989年03月15日
公開日（公表日）： 1990年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一般式R1SO2NR2C2H4OA 〔I〕(式中、R1はフルオロアルキル基を表わし、R2は水素原子または低級アルキル基を表わし、AはHまたはSO3Hを表わす。)で示されるフルオロアルキルスルホンアミド化合物よりなるフッ素系界面活性剤を硫酸に含有せしめたことを特徴とする半導体製造工程に使用される低表面張力硫酸組成物。

IPC (4件)：

C23F 1/16 ,  C09D 9/00 ,  C09K 13/08 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

C23F 1/16 ,  C09D 9/00 ,  C09K 13/08 ,  H01L 21/304 341 M

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-109985
  
• 特開昭55-107782
  
• 特開昭49-104840