特許

J-GLOBAL ID：201103058217824712

高温動作素子

発明者： 森田 訓子 ,  星之内 進
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-072622
公開番号（公開出願番号）：特開平2-250231
特許番号：特許第2804288号
出願日： 1989年03月24日
公開日（公表日）： 1990年10月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】絶縁性部材の一面に所定形状に形成された、膜密度の低い多孔質の高温動作素子膜、上記絶縁性部材の他面であって研磨された面に所定形状に形成され、上記高温動作素子膜より膜密度の高い抵抗体膜、上記抵抗体膜に接合されたリード線、及び上記抵抗体膜を覆って、上記絶縁性部材上に形成された絶縁性保護膜を備えた高温動作素子。

IPC (6件)：

H01J 1/22 ,  H01J 1/26 ,  H01J 9/04 ,  H01J 9/08 ,  H05B 3/20 311 ,  H05B 3/20 328

FI (6件)：

H01J 1/22 G ,  H01J 1/26 A ,  H01J 9/04 ,  H01J 9/08 ,  H05B 3/20 311 ,  H05B 3/20 328

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭54-140451
  
• 特公昭40-021452
  
• 特公昭61-007696
  
• 特開昭63-035917