特許
J-GLOBAL ID：201103058227405971
微粒子検出セルのパージエア流通方式
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-320807
公開番号（公開出願番号）：特開平3-180740
特許番号：特許第2824858号
出願日： 1989年12月11日
公開日（公表日）： 1991年08月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】外部ミラー形式のレーザ発振器を構成するガスレーザ管のブリュースタ窓と、該ブリュースタ窓に対応する外部ミラーとの中間のレーザに対して、被検査のエアを直交させて微粒子を検出する微粒子検出セルにおいて、上記検出セルの筐体の上記外部ミラーに対応する位置に、清浄なパージエアを圧入して噴射する圧入孔を、また上記ブリュースタ窓に対応する位置に、該噴射されたパージエアを外部に排出する排出孔をそれぞれ設け、該噴射されたパージエアが上記外部ミラーおよびその周辺を清掃した後、上記検出セルの内部を通過し、上記ブリュースタ窓およびその周辺を清掃して該排出孔より外部に排出されることを特徴とする、微粒子検出セルのパージエア流通方式。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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