特許

J-GLOBAL ID：201103058235785082

誘電体バリヤ放電ランプ及びそれを利用したドライ洗浄装置

発明者： 稲吉 貞利
出願人/特許権者： 株式会社エム・ディ・コム
代理人 (1件)： 尾関 伸介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-072995
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267280
特許番号：特許第3385259号
出願日： 2000年03月15日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】透明な外側円筒管および内側円筒管の間の空間にキセノンガス等の放電ガスを封止してなる二重円筒型放電容器と、該外側円筒管の外側に近接して設けた外側電極と、該内側円筒管の内筒内に同軸に配置した内側電極とを有してなる二重円筒型誘電体バリヤ放電ランプにおいて、外径が前記内側円筒管の内筒の径より小さく、該内筒との間に隙間を有して該内筒内に挿入される気体導入管と、前記気体導入管の片端の開口から導入され、該気体導入管の他端の開口から吐き出された窒素ガス等の気体が、該他端側において折り返されて前記隙間に導かれるように、該他端側において前記内筒の開口を封止する他端側端部構造と、前記外側電極を覆い、前記放電容器から放射された紫外線で生成されるオゾンが該外側電極に触れるのを防ぐカバーとを有し、前記外側電極は、樋状の形をなし、前記外側円筒管の側面に内面を密着して配置され、前記内面は、前記外側円筒管の軸に直交する平面において半円形等の円弧をなすとともに、光を反射する鏡面をなし、前記内側電極は、前記気体導入管と前記内側円筒管との間の隙間に配置してあり、該隙間を前記気体が軸方向に流れるのを可能にする網状等の形をなし、前記外側電極の開口に対応する領域の前記外側円筒管が前記放電容器の光取出し窓となることを特徴とする誘電体バリヤ放電ランプ。

IPC (3件)：

H01L 21/304 645 ,  B08B 7/00 ,  B08B 7/04

FI (3件)：

H01L 21/304 645 D ,  B08B 7/00 ,  B08B 7/04 Z