特許

J-GLOBAL ID：201103058427263799

照明装置と照明方法、および該照明装置を備えた露光装置とこれらによるデバイスの製造方法

発明者： 古田 和紀 ,  磯部 一仁 ,  新開 洋 ,  川島 春名
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-123222
公開番号（公開出願番号）：特開2001-307989
特許番号：特許第3507404号
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】照明光源によって被照射面を照明する照明装置において、前記照明装置が、複数の照明光源と、前記複数の照明光源の光束を合成する光束合成光学系と、前記複数の照明光源のそれぞれの光量を測定する合成前光量測定手段と、前記複数の照明光源の合成された光量を測定するための合成後光量測定手段と、前記合成前光量測定手段による合成前光量に基づいて明らかとされる前記複数の照明光源に許容される照度バランスの範囲内で、該複数の照明光源による合成後光量を得る際にこれら照明光源の一方の電力と他方の電力とをできるだけ等しくなるように、各照明光源に必要な電力を演算する制御手段と、前記制御手段の出力に基づいて、前記複数の照明光源の光量を調整する光量調整手段と、を有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 516 D