熱処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金坂憲幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-183927
公開番号（公開出願番号）：特開平3-048439
特許番号：特許第2748155号
出願日： 1989年07月17日
公開日（公表日）： 1991年03月01日
請求項（抜粋）：

【請求項1】複数枚の基板が収納可能なキャリアを両側から保持する左右一対のキャリア支持アームを有し、水平に回転してキャリアの搬入搬出ポートとキャリア設置台との間でキャリアの搬送を行う搬送機と、上記基板を支持する支持機構を有し、水平に旋回して上記キャリア設置台上のキャリアと基板移替え位置に設定され複数枚の基板が収納可能な熱処理用ボートとの間で基板の移替え行う移載機とを備え、上記移載機が昇降可能な垂直の回転軸を介して昇降及び水平回転可能に設けられており、この移載機の両側部に上記搬送機を構成する一対のキャリア支持アームが前後方向にスライド移動可能に設けられていることを特徴とする熱処理装置。

IPC (1件)：