特許
J-GLOBAL ID：201103058795399595
後方散乱電子の回収手段を備えた電子衝撃蒸発器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-173851
公開番号（公開出願番号）：特開平2-112142
特許番号：特許第2735630号
出願日： 1989年07月05日
公開日（公表日）： 1990年04月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電子ビームによる衝撃を受けるターゲットにより後方散乱された電子を回収する手段を備え、該ビームは第1のd.c.電源の出力S1に接続された電極をもつ電子銃から発せられ、該電源はその出力S1に負の電圧Voを供給するようになっている電子衝撃蒸発器であって、該蒸発器は、該後方散乱電子を集める手段と、第1の出力S2を介して該後方散乱電子を集める手段に接続された第2のd.c.電源とを含み、該後方散乱電子捕集手段を電圧Vcとして、該ターゲットにより後方散乱される電子をこの手段に吸引せしめ、該第2の出力は電圧Vcとされ、該第2の電源も第2の出力S3を介して該第1電源の出力S1に接続されており、該第2の出力S3は電圧Voとされることを特徴とする上記電子衝撃蒸発器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/305
, H01J 37/06 Z
