特許

J-GLOBAL ID：201103058831993300

塗布装置及び塗布方法

発明者： 下田 悟
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-196288
公開番号（公開出願番号）：特開2011-045833
出願日： 2009年08月27日
公開日（公表日）： 2011年03月10日
要約：

【課題】タンク等の液体貯留部からノズルヘッド等の吐出部に送られた液体内に気泡が滞留することを抑えられるようにするとともに、気泡によって吐出部から液体が吐出されなくなる現象が発生しないようにする。【解決手段】塗布装置100が、液体120が貯留された液体貯留部108と、液体貯留部108から送られた液体120の脱気を行う気液分離器130と、気液分離器130で脱気されて気液分離器130から送られた液体120を吐出するノズル孔168を有するノズルヘッド106と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

液体が貯留された液体貯留部と、 前記液体貯留部から送り出された前記液体の脱気を行う気液分離器と、 前記気液分離器で脱気されて前記気液分離器から送られた前記液体を吐出するノズル孔を有する吐出部と、を備えることを特徴とする塗布装置。

IPC (5件)：

B05C 5/00 ,  B05D 3/00 ,  B05C 11/10 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (6件)：

B05C5/00 102 ,  B05D3/00 B ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (22件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG06 ,  3K107GG35 ,  3K107GG36 ,  4D075AC06 ,  4D075AC84 ,  4D075BB56X ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F041AA05 ,  4F041AA17 ,  4F041AB01 ,  4F041BA05 ,  4F041BA31 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042AA28 ,  4F042AB00 ,  4F042CA01 ,  4F042CA07