特許

J-GLOBAL ID：201103058990293882

基板の製造装置および基板の製造方法

発明者： 宮脇 克士 ,  遠藤 仁志
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143018
公開番号（公開出願番号）：特開2001-322057
特許番号：特許第3752414号
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 1つのカセットに複数列かつ複数段で保持された複数の基板の列に対応して配置された複数列の搬送手段と、 前記搬送手段により搬送された前記基板を面取加工するための加工手段と、 前記カセットを前記搬送手段に対して上下動させる昇降手段とを備え、 前記加工手段は、複数列の前記搬送手段で搬送される前記基板の各々を面取加工できるように移動可能に配置された加工部を有する、基板の製造装置。

IPC (3件)：

B24B 9/00 ( 200 6.01) ,  B24B 9/10 ( 200 6.01) ,  B24B 41/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B24B 9/00 601 B ,  B24B 9/10 D ,  B24B 41/06 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-002459
  
• 特開昭62-079958
  
• 特開平3-208550