特許
J-GLOBAL ID：201103059136262678
スライド装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-034328
公開番号（公開出願番号）：特開平2-297787
特許番号：特許第2867408号
出願日： 1989年02月14日
公開日（公表日）： 1990年12月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基台に回転可能に支持され且つスライド部材の内部に配置されたねじ軸に螺合するスライド部材はガイド部材に嵌合して支持され、前記スライド部材の下部にはスライド部材の上部よりも軸と直角方向にそれぞれ突出した突出部を設けると共に、当該スライド部材の中央を上下に貫通する中央穴を設けて該中央穴には回転テーブルを挿入し、前記突出部の上下面を上下方向に案内される第一の被案内面とすると共に、スライド部材上部においてねじ軸に平行な両側面を水平方向に案内される第二の被案内面とし、前記ガイド部材は第一の被案内面に対向する第一の案内面と第二の被案内面に対向する第二の案内面とを有し、前記第一の被案内面と第一の案内面との少なくとも一方に気体噴出口を設け、前記第二の被案内面と第二の案内面との少なくとも一方に気体噴出口を設けたスライド装置。
IPC (2件)：
G11B 25/04 101
, H01L 21/68
G11B 25/04 101 Y
, H01L 21/68 K
