特許
J-GLOBAL ID:201103059152654519

プラズマディスプレイの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (7件): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-336131
公開番号(公開出願番号):特開2002-150947
特許番号:特許第4156789号
出願日: 2000年11月02日
公開日(公表日): 2002年05月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一対の透明基板が対向配置され、これら透明基板間に複数の障壁及び放電セルが形成され、前記複数の放電セル各々の内面に蛍光体が形成されてなるプラズマディスプレイの製造方法において、 前記透明基板上の前記隔壁の端部を形成すべき位置に、 複数の隔壁パターンが前記端部の延在方向に沿って互いに隙間を開けて形成され、これらの隙間のそれぞれの膜厚が前記端部に遠い側の隙間の膜厚より前記端部に近い側の隙間の膜厚の方が薄くなるように形成されたレジストを形成し、 次いで、サンドブラスト法により該レジストをマスクとして前記透明基板を切削し、該透明基板上に端部の高さが延在方向に沿って段階的に低くなる隔壁を形成し、 前記レジストは、前記隙間のそれぞれの長さが延在方向に沿って端部に近くなるにつれて徐々に長くなるように形成され、 前記レジストは、前記隙間の間の膜厚の厚い部分のそれぞれの幅が延在方向に沿って端部に近くなるにつれて徐々に狭くなるように形成されている ことを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
IPC (2件):
H01J 11/02 ( 200 6.01) ,  H01J 9/02 ( 200 6.01)
FI (2件):
H01J 11/02 B ,  H01J 9/02 F
引用特許:
審査官引用 (9件)
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