特許

J-GLOBAL ID：201103059372563662

スラリー流通経路の洗浄液およびその洗浄方法

発明者： 入口 一洋 ,  吉田 靖英 ,  諌見 俊之 ,  富田 保洋
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-161602
公開番号（公開出願番号）：特開2011-016185
出願日： 2009年07月08日
公開日（公表日）： 2011年01月27日
要約：

【課題】スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒のアルカリ性水溶液による洗浄に伴い、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止可能なスラリー流通経路の洗浄液およびその洗浄方法を提供する。【解決手段】pH9以上のアルカリ性水溶液に、キレート剤が添加されたスラリー流通経路用洗浄液を使用してスラリー流通経路を洗浄する。これにより、スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒をアルカリ性水溶液により洗浄する際、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

pH9以上のアルカリ性水溶液に、キレート剤が添加されたスラリー流通経路用洗浄液。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 57/02 ,  B08B 3/08

FI (3件)：

B24B37/00 K ,  B24B57/02 ,  B08B3/08 Z

Fターム (15件)：

3B201AA13 ,  3B201AA33 ,  3B201AB51 ,  3B201BB62 ,  3B201BB87 ,  3B201BB92 ,  3B201CB11 ,  3B201CC01 ,  3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17