検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮井暎夫
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-276578
公開番号（公開出願番号）：特開平3-137502
出願日： 1989年10月23日
公開日（公表日）： 1991年06月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被検査体が載置される画像反射板を設けた検査台と、前記検査台上の前記画像反射板の下方に配設された光源と、前記画像反射板の被検査体が載置される領域内の一部を貫通し、前記画像反射板より突出して設けられ、前記光源からの光を前記被検査体と前記画像反射板との接面部分に照射する照射部と、前記被検査体と前記画像反射板との接面部分を挟んで前記照射部に対向する位置に配置した撮像装置とを備えた検査装置。

IPC (2件)：