特許
J-GLOBAL ID:201103059559896266
表面処理方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-056220
公開番号(公開出願番号):特開2011-190318
出願日: 2010年03月12日
公開日(公表日): 2011年09月29日
要約:
【課題】ポリエステル基板の表面を大気圧プラズマ処理により表面処理する際に、表面処理からの時間経過によって、基板表面にオリゴマーが泣き出しすることを防止することにより、基板と機能膜との密着性を向上させることができる高品質な表面処理を、効率よく連続的に行なうことができる表面処理方法を提供する。【解決手段】前記基板に大気圧プラズマ処理による表面処理を行なう大気圧プラズマ工程と、前記大気圧プラズマ工程の前に、前記基板の表面温度をガラス転移温度Tg超に加熱する加熱工程とを有することで上記課題を解決する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
長尺なポリエステル基板を長手方向に搬送しつつ、前記基板に、大気圧プラズマ処理を行なう表面処理方法において、
前記基板に大気圧プラズマ処理による表面処理を行なう大気圧プラズマ工程と、
前記大気圧プラズマ工程の前に、前記基板の少なくとも1方の面の表面温度をガラス転移温度Tg超に加熱する加熱工程とを有することを特徴とする表面処理方法。
IPC (1件):
FI (2件):
Fターム (6件):
4F073AA01
, 4F073BA24
, 4F073BB01
, 4F073CA01
, 4F073CA04
, 4F073CA63
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特公昭48-029316
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特開昭62-053815
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特許第3765190号
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