特許
J-GLOBAL ID:201103059606151983

同軸状可撓性圧電体ケーブルの欠陥検出装置及び欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-234554
公開番号(公開出願番号):特開2003-045249
特許番号:特許第3642303号
出願日: 2001年08月02日
公開日(公表日): 2003年02月14日
請求項(抜粋):
【請求項1】 芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブが配設される孔を有する検査用電極手段と、前記圧電体チューブを移動させる移動手段と、前記検査用電極手段と前記芯電極に接続された直流電圧印加手段と、前記検査用電極手段により欠陥の存在する部分を検出して前記欠陥の存在する部分をマーキングするマーキング手段を備えた同軸状可撓性圧電体ケーブルの欠陥検出装置。
IPC (1件):
H01L 41/26
FI (1件):
H01L 41/22 C
引用特許:
審査官引用 (2件)

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