熱処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅井章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-201573
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025911
特許番号：特許第4483040号
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】縦長の処理容器内にその下端の開口部から、昇降可能になされたキャップ手段上に設置された被処理体を挿入して収容すると共に前記開口部を前記キャップ手段により塞ぎ、前記被処理体を回転しつつこれに所定の熱処理を施す熱処理装置において、前記キャップ手段は、回転可能になされ且つ熱処理時に前記開口部の周囲に形成された接合フランジ部に対して微小間隙だけ隔てて位置されるキャップ本体を有し、前記接合フランジ部の端面側に環状の複数の排気溝部を形成し、前記排気溝部を真空引きする溝部排気手段を設けるようにし、前記キャップ本体の中央には、前記処理容器内側へ突出された筒体状の被処理体設置台を設け、前記被処理体設置台内には、これを加熱する設置台加熱手段を設けるように構成したことを特徴とする熱処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ( 200 6.01) , H01L 21/31 ( 200 6.01) , C23C 16/56 ( 200 6.01) , H01L 21/22 ( 200 6.01) , H01L 21/324 ( 200 6.01)

FI (6件)：

H01L 21/205 , H01L 21/31 E , C23C 16/56 , H01L 21/22 511 R , H01L 21/22 511 Q , H01L 21/324 R

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-249936
縦型反応炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-115379 出願人：国際電気株式会社
縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-293047 出願人：東京エレクトロン株式会社

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審査官引用 (4件)

特開平3-249936
縦型反応炉
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-115379 出願人：国際電気株式会社
縦型熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-293047 出願人：東京エレクトロン株式会社

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