特許

J-GLOBAL ID：201103059944899985

液状フォトレジスト剤の塗布方法とその装置

発明者： 島田 隆治
出願人/特許権者： ノードソン株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-008321
公開番号（公開出願番号）：特開平2-188990
特許番号：特許第2640851号
出願日： 1989年01月17日
公開日（公表日）： 1990年07月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】プリント配線板に対する液状フォトレジスト剤を塗布する方法において、a. 液状フォトレジスト剤は二液型とし、かつ体積固有電気抵抗値の1MΩ/cm3以下のものを対象とすることと、b. エアレススプレイ方式とすることと、c. エアレススプレイノズル(5)の先端部に補助エアスプレイノズル(7)を設けることと、d. エアレススプレイノズル(5)のノズル孔(6)の先端部(6T)から被塗物であるプリント配線板(PP)までの最短距離の範囲(“A")が100mmないし180mmであることと、e. 設けられる静電気印加用ピン状電極(11)は、上記ノズル孔(6)の中心線の外部延長線(Cl)に対し、直角に、かつノズル孔の先端部(6T)よりの距離の範囲(“B")は50mmないし100mmであることと、f. 上記電極の先端部(11T)と上記延長中心線(Cl)との最短距離の範囲(“C")は20mmないし100mmであることと、g. 上記プリント配線板(PP)の塗布面の反対側にはアース付き金網(44)を設け、これらの間隔の範囲(“D")は、上記プリント配線板の取付治具(49)の厚さをも含めて30mm以内に収めることと、h. 吐出液圧は30〜100kg/cm2とすることと、i. 静電気印加電圧の範囲は20KVないし30KVであること、とを条件として塗布作業を行なうことを特徴とする液状フォトレジスト剤の塗布方法。

IPC (2件)：

H05K 3/28 ,  B05B 5/025

FI (2件)：

H05K 3/28 D ,  B05B 5/025 A