特許

J-GLOBAL ID：201103059967442699

リチウム電池用電極材料の製造方法

発明者： 島 正樹 ,  八木 弘雅 ,  樽井 久樹 ,  池田 博昭 ,  藤本 正久 ,  藤谷 伸 ,  堂本 洋一
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (2件)： 目次 誠 ,  宮▲崎▼主税
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-531160
特許番号：特許第3702223号
出願日： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板上に非結晶シリコン薄膜を堆積させ、該非結晶シリコン薄膜を活物質として用いるリチウム電池用電極材料の製造方法において、基板上に非結晶シリコン薄膜を堆積させる前に、基板表面に対してプラズマ照射またはイオン照射による前処理を施すことを特徴とするリチウム電池用電極材料の製造方法。

IPC (10件)：

H01M 4/02 ,  C23C 14/02 ,  C23C 14/14 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/24 ,  H01M 4/04 ,  H01M 4/38 ,  H01M 4/48 ,  H01M 4/58 ,  H01M 10/40

FI (10件)：

H01M 4/02 B ,  C23C 14/02 Z ,  C23C 14/14 A ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/24 ,  H01M 4/04 Z ,  H01M 4/38 Z ,  H01M 4/48 ,  H01M 4/58 ,  H01M 10/40 Z