特許
J-GLOBAL ID:201103060143030012
動圧空気軸受型光偏向器
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-187302
公開番号(公開出願番号):特開2002-006251
特許番号:特許第4478299号
出願日: 2000年06月22日
公開日(公表日): 2002年01月09日
請求項(抜粋):
【請求項1】ケースに立設した固定軸と、前記固定軸の外周をヘリングボーン溝その他の動圧発生部からなるラジアル動圧空気軸受により回転自在に支持された回転軸とを備え、前記回転軸と一体的に回転する回転多面鏡その他のロータ部をケースとカバ部材により密閉したケース内に収容するとともに、前記ロータ部を回転させることにより前記ケース内の空気をケース外部へと排出し、該ケース内を減圧あるいは真空化するポンプ機構を備える動圧空気軸受型光偏向器において、
ケース内の圧力が所定の圧力に到達するまでは、使用回転速度よりも遅い所定の回転速度以下でロータ部を回転駆動することにより、回転多面鏡等により発生する風切り音を低減させたことを特徴とする動圧空気軸受型光偏向器。
IPC (6件):
G02B 26/12 ( 200 6.01)
, B41J 2/44 ( 200 6.01)
, F16C 17/02 ( 200 6.01)
, F16C 17/04 ( 200 6.01)
, H02K 5/16 ( 200 6.01)
, H02K 7/08 ( 200 6.01)
FI (6件):
G02B 26/10 102
, B41J 3/00 D
, F16C 17/02 A
, F16C 17/04 A
, H02K 5/16 Z
, H02K 7/08 A
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