特許
J-GLOBAL ID:201103060150626303
貫通電極付きガラス板の製造方法および電子部品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鎌田 耕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-047002
公開番号(公開出願番号):特開2011-178642
出願日: 2010年03月03日
公開日(公表日): 2011年09月15日
要約:
【課題】電子基板として適する貫通電極を有するガラス板を製造する方法であって、貫通電極を精度よく、且つ高密度に形成できる方法を提供する。【解決手段】波長λのレーザパルス11をレンズで集光してガラス板12に照射し、レーザパルス11が照射された部分に変質部13を形成する工程と、ガラス板12に対するエッチングレートよりも変質部13に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて少なくとも変質部13をエッチングしてガラス板12に孔を形成する工程と、貫通電極を構成する導電性材料を前記孔の内部に配置する工程とを含む製造方法とする。レーザパルス11のパルス幅は1ns〜200nsの範囲にあり、波長λは535nm以下、波長λにおけるガラス板12の吸収係数は50cm-1以下、レンズの焦点距離L(mm)をレンズに入射する際のレーザパルス11のビーム径D(mm)で除した値は7以上とする。【選択図】図5
請求項(抜粋):
(i)波長λのレーザパルスをレンズで集光してガラス板に照射することによって、前記ガラス板のうち前記レーザパルスが照射された部分に変質部を形成する工程と、
(ii)前記ガラス板に対するエッチングレートよりも前記変質部に対するエッチングレートが大きいエッチング液を用いて少なくとも前記変質部をエッチングすることにより前記ガラス板に孔を形成する工程と、
(iii)貫通電極を構成する導電性材料を前記孔の内部に配置する工程と、を含み、
前記レーザパルスのパルス幅が1ns〜200nsの範囲にあり、
前記波長λが535nm以下であり、
前記波長λにおける前記ガラスの吸収係数が50cm-1以下であり、
前記レンズの焦点距離L(mm)を、前記レンズに入射する際の前記レーザパルスのビーム径D(mm)で除した値が7以上である、貫通電極付きガラス板の製造方法。
IPC (10件):
C03C 15/00
, B23K 26/40
, B23K 26/38
, B23K 26/00
, C03C 23/00
, C03C 3/087
, C03C 3/093
, C03C 3/091
, C03C 3/089
, C03C 3/06
FI (11件):
C03C15/00 Z
, B23K26/40
, B23K26/38 330
, B23K26/00 G
, B23K26/00 N
, C03C23/00 D
, C03C3/087
, C03C3/093
, C03C3/091
, C03C3/089
, C03C3/06
Fターム (97件):
4E068AA01
, 4E068AF01
, 4E068AF02
, 4E068AJ04
, 4E068CA02
, 4E068CA03
, 4E068CA07
, 4E068DA10
, 4E068DA11
, 4E068DB13
, 4G059AA08
, 4G059AB11
, 4G059AC01
, 4G059BB04
, 4G059BB12
, 4G059BB14
, 4G062AA01
, 4G062BB01
, 4G062DA06
, 4G062DA07
, 4G062DA08
, 4G062DB01
, 4G062DB02
, 4G062DB03
, 4G062DB04
, 4G062DC01
, 4G062DC04
, 4G062DD01
, 4G062DE01
, 4G062DE02
, 4G062DE03
, 4G062DF01
, 4G062EA01
, 4G062EA02
, 4G062EA03
, 4G062EB01
, 4G062EB02
, 4G062EB03
, 4G062EB04
, 4G062EC01
, 4G062EC02
, 4G062EC03
, 4G062ED01
, 4G062ED02
, 4G062ED03
, 4G062EE01
, 4G062EE02
, 4G062EE03
, 4G062EF01
, 4G062EF02
, 4G062EF03
, 4G062EG01
, 4G062EG02
, 4G062EG03
, 4G062FA01
, 4G062FA10
, 4G062FB01
, 4G062FB02
, 4G062FB03
, 4G062FC01
, 4G062FD01
, 4G062FE01
, 4G062FF01
, 4G062FF02
, 4G062FG01
, 4G062FH01
, 4G062FJ01
, 4G062FK01
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, 4G062FL03
, 4G062GA01
, 4G062GA02
, 4G062GA10
, 4G062GB01
, 4G062GC01
, 4G062GD01
, 4G062GE01
, 4G062HH01
, 4G062HH03
, 4G062HH05
, 4G062HH07
, 4G062HH08
, 4G062HH09
, 4G062HH10
, 4G062HH11
, 4G062HH12
, 4G062HH13
, 4G062HH15
, 4G062HH17
, 4G062HH20
, 4G062JJ01
, 4G062JJ03
, 4G062JJ05
, 4G062JJ07
, 4G062JJ10
, 4G062MM01
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