高周波誘導結合プラズマ質量分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：東野博文
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-256232
公開番号（公開出願番号）：特開平4-065059
特許番号：特許第2926782号
出願日： 1989年09月29日
公開日（公表日）： 1992年03月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定試料をプラズマトーチに導いて励起してイオン化し、イオン化された被測定試料を質量分析計に導いて質量分析を行う高周波誘導結合プラズマ質量分析装置において、イオン化された被測定試料が通過する電極が所定間隔で複数枚設けられていて、前記電極はイオン化された被測定試料が通過する前にはイオン化された被測定試料と異なる極性になり、イオン化された被測定試料が通過した後にはイオン化された被測定試料と同じ極性になる線形加速器と、を具備し、イオン化された被測定試料を前記線形加速器で加速して前記質量分析計に導くことを特徴とした高周波誘導結合プラズマ質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/06 , H01J 49/10 , H01J 49/26

FI (3件)：

H01J 49/06 , H01J 49/10 , H01J 49/26

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