レーザ切断判定方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：草野卓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-334251
公開番号（公開出願番号）：特開平3-193284
特許番号：特許第2775005号
出願日： 1989年12月22日
公開日（公表日）： 1991年08月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】絶縁皮膜よりも下層に形成されたリンクに、レーザ発振器を制御してパワーの大きい切断用レーザ光を照射した後、上記リンクの切断個所とその付近に、上記レーザ発振器を制御してパワーの小さい観測用レーザ光を照射し、その反射光を観察して上記切断用レーザ光による切断を確認するレーザ切断判定方法において、上記リンクに上記観測用レーザ光を照射し、その照射点をそのリンクに沿って所定量づつ順次移動し、その各照射点ごとにそれぞれ反射光のパワーを所定回数づつ測定し、その各所定回数の測定値の平均値をそれぞれ求め、その求めた平均値の変化状態から上記リンクの切断を確認することを特徴とするレーザ切断判定方法。

IPC (1件)：