特許
J-GLOBAL ID：201103060326861070
スパッタ用電源
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329300
公開番号（公開出願番号）：特開2001-145371
特許番号：特許第4079561号
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】主直流電源と逆極性パルス用直流電源とを、それらの出力電圧が同極性でかつ直列になるように接続し、
前記直列接続された主直流電源と逆極性パルス用直流電源の両端間に逆並列ダイオードを有する互いに直列の第1と第2の半導体スイッチを接続し、
前記主直流電源の出力端子と前記逆極性パルス用直流電源の出力端子との接続点と前記第1と第2の半導体スイッチとの接続点間にスパッタ電極と電流制限用インダクタを互いに直列になるように接続し、
前記第1と第2の半導体スイッチを周期的に交互にオンさせることにより、前記第1の半導体スイッチがオンの時には前記主直流電源から前記スパッタ電極に負極性定常電圧を供給し、
前記第2の半導体スイッチがオンの時には前記逆極性パルス用直流電源から前記スパッタ電極に逆極性の正極パルスを加えることを特徴とするスパッタ用電源。
IPC (2件)：
H02M 7/5387 ( 200 7.01)
, C23C 14/34 ( 200 6.01)
H02M 7/538 A
, C23C 14/34 T
