特許

J-GLOBAL ID：201103060698136401

赤外線センサ

発明者： 内田 誠
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-024853
公開番号（公開出願番号）：特開平2-205730
特許番号：特許第2811709号
出願日： 1989年02月03日
公開日（公表日）： 1990年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属又は半導体又は金属と半導体の両方のパターンを支持し、かつ、半導体エッチング液に対し耐腐蝕性を持つ、絶縁物の薄膜と、前記薄膜上にある赤外線吸収率の高い吸収層と、前記薄膜を周囲から支持している半導体基板から成るダイアフラム構造を有する熱型赤外線センサにおいて、前記の吸収層として屈折率が表層に行くにつれて小さくなる半導体膜であることを特徴とする特徴とする熱型赤外線センサ。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

FI (5件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Y ,  G01J 1/02 R ,  G01J 5/02 P ,  G01J 5/02 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-161679
  
• 特開昭61-207097
  
• 特開昭62-277528