特許
J-GLOBAL ID:201103060978598389

圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 梶 良之 ,  須原 誠 ,  木村 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-031998
公開番号(公開出願番号):特開2011-167875
出願日: 2010年02月17日
公開日(公表日): 2011年09月01日
要約:
【課題】見かけ上の圧電特性の低下を抑制する。【解決手段】圧電アクチュエータ32は、積層された上部圧電層40及び下部圧電層41と、上部圧電層40の上面に配置された複数の個別電極43と、上部圧電層40と下部圧電層41の間に配置された第1共通電極44及び第2共通電極45と、接着剤42を介して下部圧電層41と接着された金属膜46とを有している。下部圧電層41の第1共通電極44と重なる部分には、凹部41aが形成されている。個別電極43は所定の駆動電位とグランド電位のいずれかの電位が選択的に付与され、第1共通電極44は駆動電位に保持され、第2共通電極45はグランド電位に保持される。接着剤42は、下部圧電層41よりも誘電率の低い接着剤であり、下部圧電層41と金属膜46を接着している。また、下部圧電層41の凹部41aにも接着剤42が充填されている。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
厚み方向に積層された複数の圧電層と、 前記複数の圧電層のうちいずれか2枚の圧電層間に配置され、グランド電位と異なる第1電位が付与される第1電極と、 前記複数の圧電層の積層方向における前記第1電極よりも一方側に配置され、前記第1電位と異なる第2電位が付与される第2電極と、 前記第1電極と前記第2電極の間に挟まれた前記圧電層に形成され、分極処理された活性部と、 前記複数の圧電層の前記積層方向における前記第1電極よりも他方側の表面に配置された金属膜と、を備えており、 前記第1電極に対して前記活性部と反対側にあり、前記金属膜と接触する圧電層には、前記積層方向に関して前記第1電極と重なる部分に、前記金属膜が配置される表面側から凹んだ凹部が形成されており、 前記第1電極と前記金属膜に挟まれた前記凹部には、前記圧電層よりも誘電率の低い充填剤が充填されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H
Fターム (11件):
2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG42 ,  2C057AG47 ,  2C057AG57 ,  2C057AG60 ,  2C057AP14 ,  2C057AP17 ,  2C057AP25 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許:
出願人引用 (2件)

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