特許
J-GLOBAL ID：201103061004216086
分光エリプソメータ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-325362
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131136
特許番号：特許第4358982号
出願日： 2000年10月25日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】試料表面に多波長の偏光光をスポット入射する入射光学系と、試料表面で反射した楕円偏光の偏光変化量に基づいて試料表面に関する情報を出力する検出光学系とからなる分光エリプソメータであって、入射光学系に用いる偏光子として、入射と出射表面の形状が各入射・出射光の直進方向に対して直角な曲面を有するプリズムを用いることを特徴とする分光エリプソメータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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