水晶振動子用コーティング液、ガス検出素子、エチレン検出素子およびガス検出素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 酒井將行 , 荒川伸夫 , 佐々木眞人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-109270
公開番号（公開出願番号）：特開2011-237295
出願日： 2010年05月11日
公開日（公表日）： 2011年11月24日
要約：

【課題】検出対象ガスを高感度で吸着可能なガス吸着膜を形成する水晶振動子用のコーティング液を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の水晶振動子用コーティング液は、金属アルコキシド、当該金属アルコキシドの部分加水分解物および当該金属アルコキシドの縮合物からなる群から選択される一種以上よりなる主成分と、当該主成分を溶解する有機溶剤と、水とを含有し、当該金属アルコキシドの少なくとも一部の化合物は、フッ素元素を構成元素として含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属アルコキシド、前記金属アルコキシドの部分加水分解物および前記金属アルコキシドの縮合物からなる群から選択される一種以上よりなる主成分と、前記主成分を溶解する有機溶剤と、水とを含有し、前記金属アルコキシドの少なくとも一部の化合物は、フッ素元素を構成元素として含む、水晶振動子用コーティング液。

IPC (1件)：

G01N 5/02

FI (1件)：

G01N5/02 A

引用特許：

出願人引用 (5件)

金属酸化物薄膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-051604 出願人：株式会社トクヤマ
QCMデバイスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-237529 出願人：セイコーエプソン株式会社
揮発性有機塩素化合物センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-223591 出願人：株式会社化研, 独立行政法人産業技術総合研究所, 株式会社ガステック

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