特許
J-GLOBAL ID:201103061044755532
光学式変位量計測装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 植木 久一
, 伊藤 孝夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-093483
公開番号(公開出願番号):特開2000-283712
特許番号:特許第4121140号
出願日: 1999年03月31日
公開日(公表日): 2000年10月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 反射部分と非反射部分を持つ被計測体の変位動作に応じた前記反射部分と非反射部分の移動軌跡上に測定光を照射すると共に反射光を受光して前記反射部分または非反射部分の出現状況から前記被計測体の変位に関する量を計測する光学式変位量計測装置において、
集光用のレンズと、
該レンズの光軸に沿うと共に前記レンズの焦点位置に設けられた、レーザ光を発生する発光素子と、
前記レンズの光軸に沿うと共に前記発光部に比して前記レンズ側に設けられ、前記反射光を受光する受光素子と、
発光素子および受光素子を固定する板金とを備えており、
上記板金は、90度を超える角度で折り曲げられており、その一方片に発光素子を固定し、他方片に受光素子を固定することによって、発光素子を光軸から一方側に傾斜させて設けていることを特徴とする光学式変位量計測装置。
IPC (3件):
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01B 11/26 ( 200 6.01)
, G01D 5/36 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01B 11/00 A
, G01B 11/26 Z
, G01D 5/36 T
引用特許:
審査官引用 (3件)
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光学式エンコーダ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-307399
出願人:ヒューレット・パッカード・カンパニー
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光学装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-092559
出願人:ソニー株式会社
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特開平1-220140
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