特許
J-GLOBAL ID：201103061088521261
スライシングマシンの切断方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：特許公告
出願番号（国際出願番号）：特願平1-232426
公開番号（公開出願番号）：特開平3-093509
出願日： 1989年09月07日
公開日（公表日）： 1991年04月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】柱状体材料を所定の割り出し量だけ移動させた後、回転している切断刃に対して柱状体材料を切断方向に移動して所定の厚さのウエハに切断すると共に、柱状体材料端面の研削を行うスライシングマシンの切断方法に於いて、切断後のウエハ厚さの実測データに基づいて、切断後のウエハが所定の厚さとなる研削砥石の研削位置Gminと、研削量が最小となる柱状体材料の割り出し量Iとを下記の算式により算出し、Gmin=G0-TT-KB+GSNI=(G0-Gmin+GGP+KG)×(1/COSθ1)×(1/COSθ2)Gmin:研削によってウエハの厚さが最小になる位置G0:研削基準位置TT:ウエハの目標厚さKB:切断刃のカーフ・ロスGSN:上面凹部研削変位量(最小厚さ-切り始め厚さTM)GSP:上面凸部研削変位量(最大厚さ-切り始め厚さTM)GGP:下面凹部研削変位量(最大厚さ-切り始め厚さTM)KG:研削砥石のカーフ・ロスθ1、θ2:柱状体材料の傾斜角該割り出し量Iに応じて柱状体材料を下方へ移動させ、且つ前記研削位置Gminに研削砥石を移動して、柱状体材料の切断工程と研削工程とを同時に行うことを特徴とするスライシングマシンの切断方法。
IPC (1件)：
引用特許：
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