多層膜反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺隆男 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-211491
公開番号（公開出願番号）：特開平3-075600
特許番号：特許第2814595号
出願日： 1989年08月18日
公開日（公表日）： 1991年03月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】使用するX線の波長域における屈折率の異なる物質を交互に積層してなる多層膜反射鏡において、表面に酸化スズまたは酸化バナジウムからなる保護層を設けたことを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (1件)：