特許
J-GLOBAL ID：201103061163420832
プローブ測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 哲男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-196278
公開番号（公開出願番号）：特開平3-060141
特許番号：特許第2759193号
出願日： 1989年07月28日
公開日（公表日）： 1991年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】フレキシブルプリント基板を突状に塑性変形させて複数の電気的接触突起を形成し、これらの接触突起の両側縁に切り溝を形成したプローブカードを用いて、前記複数の接触突起とウエハ上に形成された複数の電極パッドとを一括接触させ、前記ウエハの電気的特性を測定することを特徴とするプローブ測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 F
, H01L 21/66 B
