特許
J-GLOBAL ID：201103061211732353
均熱ヒ-タ
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-021205
特許番号：特許第3002990号
出願日： 1999年01月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 半導体などの被加熱材料を加熱する均熱ヒ-タにあつて該均熱ヒ-タの全面にわたつて均一に所定の温度が得られるようにするためにアルミナ等のセラミツク板に蛇行状又は渦巻状に所定の温度上昇に要する電気抵抗に相当する長さ及び断面積の白金線又は白金薄膜を抵抗発熱体として用い、白金の温度と直線的に比例して抵抗値が増減することを利用し更に該均熱ヒ-タの全面にわたつて±5°C以下の高い精度の均熱を得るために所要のヒ-タの面積を等分割した正方形又は多角形のセラミツク板を発熱体の基板としたセグメントを該セグメント同志締結して所要の面積として構成するか又は所要のヒ-タの面積の全面を等部分に区画したセラミツク板上に蛇行状又は渦巻状に所要の白金線又は白金薄膜を配列して発熱体とし、該小形状の発熱体のセグメント又は小区画の発熱体の各々は同一温度にて同一抵抗値を持ち同一発熱特性を持つように抵抗発熱体とする白金線又は白金薄膜の長さ及び断面積を同じくし該白金線又は白金薄膜のそれぞれは並列に電源に接続されていることを特徴とする均熱ヒ-タ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
前のページに戻る
