特許

J-GLOBAL ID：201103061311729252

ステージ機構

発明者： 内海 和晴 ,  小梁川 靖
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 池田 憲保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-012683
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214280
特許番号：特許第4209983号
出願日： 1999年01月21日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ベース上に所定の間隔をおいて配設され予め定められた方向へ延びる第1及び第2のレールと、前記第1及び前記第2のレールをガイドとしてそれぞれ前記第1及び前記第2のレールに沿って移動する第1及び第2の移動体と、前記第1及び前記第2の移動体と連結するビームとを有し、前記ビームは前記予め定められた方向に直交する方向に延びており、前記ビームの一端は前記第1の移動体に固定され前記ビームの他端は前記第2の移動体に前記予め定められた方向に延びる板バネを介して固定されており、 前記板バネは一端を前記ビームの側面に固定され、他端は前記第2の移動体の側面に固定されることで前記ビームを支持するものであり、 前記板バネの一端と他端とは、前記あらかじめ定められた方向に沿って固定されることを特徴とするステージ機構。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ( 200 6.01) ,  G12B 7/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G12B 5/00 T ,  G12B 7/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-087031
  
• 特開昭63-138292