特許

J-GLOBAL ID：201103061423801444

プログラマブルアクチュエータ及びそのプログラミング方法

発明者： 池橋 民雄
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (20件)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  風間 鉄也 ,  勝村 紘 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-191261
公開番号（公開出願番号）：特開2011-044556
出願日： 2009年08月20日
公開日（公表日）： 2011年03月03日
要約：

【課題】プログラム機能を有する静電型MEMSアクチュエータを実現する。【解決手段】本発明の例に係るプログラマブルアクチュエータは、第1駆動電極3Aを含む可動部1と、第1駆動電極3Aに対向し、第1及び第2部分5a,5bから構成される第2駆動電極3Bと、第2駆動電極3Bの第1部分5aと第1駆動電極3Aとの間に第1電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させない状態で可動部1を複数回動作可能にする第1駆動回路6aと、第2駆動電極3Bの第2部分5bと第1駆動電極3Aとの間に第2電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させた状態で可動部1を固定可能にする第2駆動回路6bとを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1駆動電極を含む可動部と、 前記第1駆動電極に対向し、第1及び第2部分から構成される第2駆動電極と、 前記第2駆動電極の前記第1部分と前記第1駆動電極との間に第1電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させない状態で前記可動部を複数回動作可能にする第1駆動回路と、 前記第2駆動電極の前記第2部分と前記第1駆動電極との間に第2電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させた状態で前記可動部を固定可能にする第2駆動回路と を具備することを特徴とするプログラマブルアクチュエータ。

IPC (6件)：

H01G 5/16 ,  H01G 4/255 ,  H01G 5/019 ,  B81B 3/00 ,  B81C 99/00 ,  H01H 59/00

FI (6件)：

H01G5/16 ,  H01G4/34 ,  H01G5/36 ,  B81B3/00 ,  B81C5/00 ,  H01H59/00

Fターム (11件)：

3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081BA72 ,  3C081CA44 ,  3C081EA23 ,  3C081EA24 ,  5E082AB10 ,  5E082BC11 ,  5E082EE05