赤外線センサの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-092509
公開番号（公開出願番号）：特開2011-220938
出願日： 2010年04月13日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：

【課題】気密性を確保しつつ、光学フィルタ膜の割れや剥れを抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。【解決手段】赤外線検出素子1およびIC素子2をパッケージ本体4に実装する。その後、赤外線透過部材6の周部とパッケージ3における開口部5aの周部との間に介在させた低融点ガラス7aをレーザ光LBにより加熱して溶融させることで赤外線透過部材6とパッケージ3における開口部5aの周部とを低融点ガラス7aからなる第1の接合部7を介して気密的に接合する接合工程を行う。この接合工程では、レーザ光LBを赤外線透過部材6側から照射して低融点ガラス7aを加熱して溶融させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

赤外線検出素子と、少なくとも前記赤外線検出素子を収納するパッケージであり前記赤外線検出素子の前方に開口部が形成された前記パッケージと、赤外線透過材料からなる基材の厚み方向の少なくとも一面に赤外線用の光学フィルタ膜が積層されてなり前記開口部を塞ぐように配置され前記パッケージに低融点ガラスからなる接合部を介して気密的に接合された赤外線透過部材とを備えた赤外線センサの製造方法であって、前記赤外線透過部材の周部と前記パッケージにおける前記開口部の周部との間に介在させた前記低融点ガラスをレーザ光により加熱して溶融させることで前記赤外線透過部材と前記パッケージにおける前記開口部の前記周部とを接合する接合工程を備え、前記接合工程では、前記レーザ光を前記赤外線透過部材側から照射して前記低融点ガラスを加熱して溶融させることを特徴とする赤外線センサの製造方法。

IPC (5件)：

G01J 1/02 , G01J 1/04 , H01L 35/34 , H01L 35/30 , H01L 23/02

FI (6件)：

G01J1/02 C , G01J1/02 H , G01J1/04 B , H01L35/34 , H01L35/30 , H01L23/02 D

Fターム (13件)：

2G065AA11 , 2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA12 , 2G065BA13 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065BA37 , 2G065BA38 , 2G065BB27 , 2G065BE08 , 2G065DA18 , 2G065DA20

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