特許

J-GLOBAL ID：201103061546129961

スパッタリング用タングステンターゲットの製造方法

発明者： 大石 忠美 ,  藤田 典之 ,  今村 拓夫
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (2件)： 椎名 彊 ,  松本 悦一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-391527
公開番号（公開出願番号）：特開2003-193225
特許番号：特許第3837069号
出願日： 2001年12月25日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】金属製のカプセルに粒径が2〜10μmのタングステン粉末を充填後、常温プレスにて該粉末を加圧し、その後、真空中にてカプセリングし、続いて該カプセルを熱間等方加圧焼結(HIP)処理することを特徴とするスパッタリング用タングステンターゲットの製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  B22F 3/15 ( 200 6.01) ,  B22F 3/24 ( 200 6.01) ,  H01L 21/285 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C23C 14/34 A ,  B22F 3/15 G ,  B22F 3/15 M ,  B22F 3/24 H ,  H01L 21/285 S ,  H01L 21/285 301