特許

J-GLOBAL ID：201103061868237093

プログラマブル素子、プログラマブル回路及び半導体装置

発明者： 豊島 義明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-370245
公開番号（公開出願番号）：特開2003-174087
特許番号：特許第3515556号
出願日： 2001年12月04日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 多結晶シリコン膜と、前記多結晶シリコン膜に積層された金属珪化物膜または金属膜とを有する抵抗体を備え、熱によって前記金属珪化物膜または金属膜の組成を変化もしくは化学結合状態を変化させることにより、前記抵抗体の電気抵抗値を変化させ、前記抵抗体の電気抵抗値の変化に基づいてプログラムされることを特徴とするプログラマブル素子。

IPC (7件)：

H01L 21/82 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/04 ,  H01L 27/10 481 ,  H01L 27/108 ,  H03K 19/173 101

FI (7件)：

H01L 27/10 481 ,  H03K 19/173 101 ,  H01L 21/82 A ,  H01L 21/82 R ,  H01L 21/82 S ,  H01L 27/04 P ,  H01L 27/10 681 F