特許
J-GLOBAL ID:201103061957419014

酸化物被膜の形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西 義之
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-244285
公開番号(公開出願番号):特開2001-072440
特許番号:特許第3751169号
出願日: 1999年08月31日
公開日(公表日): 2001年03月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】加熱したガラス板上にアルミニウム化合物およびスズ化合物を含む溶液をスプレー、熱分解させ、アルミニウム酸化物およびスズ酸化物の被膜を形成する方法において、前記溶液が、β-ケトエステルまたはβ-ジケトンを含み、少なくとも1つのアルコキシ配位子と少なくとも1つのβ-ケトエステルまたはβ-ジケトンを配位子として有するアルミニウム化合物、ハロゲン化スズおよび/または有機スズ化合物を含むことを特徴とする酸化物被膜の形成方法。
IPC (1件):
C03C 17/25 ( 200 6.01)
FI (1件):
C03C 17/25 A
引用特許:
審査官引用 (3件)

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