特許

J-GLOBAL ID：201103061965122721

エンコーダ

発明者： 宇佐美 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 稲本 義雄 ,  西川 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-166401
公開番号（公開出願番号）：特開2011-021963
出願日： 2009年07月15日
公開日（公表日）： 2011年02月03日
要約：

【課題】所定の機器にエンコーダを設ける場合に、機器の小型化を図ることができるようにする。【解決手段】リニアエンコーダ25の主尺31には、ステージの減速位置および終端位置への到達を検知するための減速領域センサ34-1およびストロークエンドセンサ33-1と、ステージを制御する制御装置22とを接続するパターン91-1およびパターン91-2が設けられている。また、主尺31には、減速領域センサ34-1およびストロークエンドセンサ33-1と、電源24とを電気的に接続するためのパターン91-3およびパターン91-4も設けられている。これにより、減速領域センサ34-1およびストロークエンドセンサ33-1と、制御装置22および電源24とを接続するための電線をより短くすることができ、リニアエンコーダ25が設けられる機器の小型化を図ることができる。本発明は、リニアエンコーダに適用することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

主尺とヘッド部との相対的な位置関係の変化量を測定するエンコーダであって、 前記変化量を測定するための主尺目盛が設けられた前記主尺と、 前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に対して測定光を照射する発光部と、 前記ヘッド部に設けられ、前記主尺目盛に照射された前記測定光を受光する受光部と を備え、 前記主尺には信号配線用のパターンが形成されている ことを特徴とするエンコーダ。

IPC (2件)：

G01D 5/347 ,  G01D 5/36

FI (3件)：

G01D5/34 D ,  G01D5/36 K ,  G01D5/34 K

Fターム (18件)：

2F103BA32 ,  2F103BA43 ,  2F103CA01 ,  2F103CA02 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103EA01 ,  2F103EA02 ,  2F103EA15 ,  2F103EA19 ,  2F103EB06 ,  2F103EB12 ,  2F103EB15 ,  2F103EB16 ,  2F103EB33 ,  2F103EC04 ,  2F103ED02 ,  2F103GA02