特許
J-GLOBAL ID：201103062173697537
マイクロ・ナノ突起構造体及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小杉 佳男
, 山田 正紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-211316
公開番号（公開出願番号）：特開2011-056638
出願日： 2009年09月14日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】本発明は、金属銅や銅酸化物に比べ、各種デバイスや機能材料等への適用範囲が一段と広いマイクロ・ナノ突起構造体及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】亜鉛基板と、前記亜鉛基板と一体に成長・形成した亜鉛を主体とする突起とからなるマイクロ・ナノ突起構造体である。その突起は、形状が円錐体及び円柱体を含む横断面丸形であり、突起底面の3μm以下の外径に対する突起高さの比であるアスペクト比が3以上である。また、前記円錐体突起は、先端の曲率半径ρが10nm以下、開き角θが30deg以下である。そして、これらの突起構造体は、真空中で亜鉛基板の表面上に、15〜90degの照射角にて加速電圧2〜10kVのArイオンビームを照射し、励起した亜鉛原子の表面拡散で成長・形成させる。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
亜鉛基板と、前記亜鉛基板と一体に成長・形成した亜鉛を主体とする突起とからなり、その形状が円錐体及び円柱体を含む横断面丸形であり、突起底面の3μm以下の外径に対する突起高さの比であるアスペクト比が3以上であることを特徴とするマイクロ・ナノ突起構造体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用文献：
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